Title:
連続式熱処理炉、およびそれを用いたセラミック電子部品の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016208615
Kind Code:
A1
Abstract:
連続式熱処理炉（ＨＦ１）では、搬送方向（ｂ）に沿って、ワークの熱処理を行なう熱処理領域が設けられている。ワークは、熱処理領域（Ｈ）を搬送されながら熱処理される。ワークを搬送するためのワーク搬送機構（１００）は、上方に開口部を有する箱状のベースフレーム（１）と、多孔質プレート（２）と、多孔質プレート（２）がベースフレーム（１）の開口部を覆うことにより形成された気室（３）と、気室（３）と連通し、多孔質プレート（２）を透過して流出する気体（ｇ）を気室（３）に供給する気体供給手段（４）とを備えている。多孔質プレート（２）は上面（２ａ）がワークの搬送方向に向けて下り傾斜となるように配設されており、かつ上面（２ａ）にワーク（Ｗ）の搬送方向に沿った溝（２ｔ1ないし２ｔ10）が形成されている。
Inventors:
Norioka Tetsujin
Yukihiro Nakatani
Takahata Takeshi
Yukihiro Nakatani
Takahata Takeshi
Application Number:
JP2017524940A
Publication Date:
March 29, 2018
Filing Date:
June 22, 2016
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
F27B9/20; F27B9/30; F27D5/00; F27D7/00; H01G4/12; H01G4/30
Domestic Patent References:
| JPH08136144A | 1996-05-31 | |||
| JP2008273727A | 2008-11-13 | |||
| JP2015049020A | 2015-03-16 |
Foreign References:
| US1699955A | 1929-01-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Fukami patent office