Title:
データ処理制御装置、検査装置、データ処理制御方法、およびデータ処理制御用プログラム。
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7258197
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】電子部品の検査における残留誤差の解析を容易にする。【解決手段】データ処理制御装置１０は、４端子法によって測定した測定対象物の直流抵抗の測定値Ｒｄｃ４と、２端子法によって測定し、補正した測定対象物の直流抵抗の測定値Ｒｄｃ２と、を取得するデータ取得部２１と、直流抵抗の測定値Ｒｄｃ４と直流抵抗の測定値Ｒｄｃ２とに基づいて２端子法による接触抵抗に起因する抵抗成分ΔＲを算出し、抵抗成分ΔＲと直流抵抗の測定値Ｒｄｃ４との関係を示す残留誤差データ２６を生成する残留誤差データ生成部２３と、を備えることを特徴とする。【選択図】図４
Inventors:
Yojiro Shigeta
Application Number:
JP2022018171A
Publication Date:
April 14, 2023
Filing Date:
February 08, 2022
Export Citation:
Assignee:
Hioki Electric Co., Ltd.
International Classes:
G01R27/08; G01R27/02; G01R27/26; G01R35/00
Domestic Patent References:
| JP201986460A | ||||
| JP201990757A | ||||
| JP201796733A | ||||
| JP2019153664A |
Foreign References:
| WO2021090792A1 |
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Junichi Maekawa
Ueshima class
Ken Sasada
Junichi Maekawa
Ueshima class
Ken Sasada