Title:
光ビームの偏光状態を調節するためのデバイスの位相シフトのドリフトを補償するためのデバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016533496
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、対象物体の測定点の偏光状態を分析及び／または生成するためのデバイスに関し、本デバイスは、入射光波において、所定の方向に直線偏光された光ビームを選択するのに好適な偏光子と、該光ビームを通過させるのに好適な第１の複屈折素子と、第１の素子と同一であり、該光ビームを通過させるのに好適な第２の複屈折素子であって、該光ビームが次に、該物体に向かって直接的または間接的に方向付けられて、反射ビームの形態で反射される、第２の複屈折素子とを含む。加えて、１つ以上の光学素子から成る光学アセンブリは、第１の素子と第２の素子との間の光路に位置し、本光学アセンブリは、奇数の鏡、または奇数の２分の１波長板、または奇数の組み合わされた鏡及び２分の１波長板から成る。
Inventors:
Jihad The Rat
Marc Tolzinski
Alexandre Man
Christian unlish
Marc Tolzinski
Alexandre Man
Christian unlish
Application Number:
JP2016524862A
Publication Date:
October 27, 2016
Filing Date:
June 20, 2014
Export Citation:
Assignee:
Universite de Strasbourg
Ecole Polytechnique/Dgar
Ecole Polytechnique/Dgar
International Classes:
G01J4/04; G01N21/21; G02B5/30; G02B27/28
Domestic Patent References:
| JP2007093289A | 2007-04-12 | |||
| JP2002269797A | 2002-09-20 | |||
| JPH04241304A | 1992-08-28 |
Foreign References:
| WO2008084707A1 | 2008-07-17 | |||
| US6795184B1 | 2004-09-21 | |||
| US20040130717A1 | 2004-07-08 |
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Tetsuro Shimada
Shinji Mitsuhashi
Takuya Shinoda
Yoryo Mihashi
Koichi Ito
Tetsuro Shimada
Shinji Mitsuhashi
Takuya Shinoda
Yoryo Mihashi
Koichi Ito