Title:
マイクロリソグラフィ投影露光系のチャネルの欠陥を補償するための装置及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015513223
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、（ａ）各々が部分ビームを案内し、少なくとも１つが少なくとも１つの欠陥を含む複数のチャネルと、（ｂ）少なくとも１つの欠陥を有する少なくとも１つのチャネルに配置され、これらのチャネルの部分ビームの少なくとも１つの欠陥を少なくとも部分的に補償するようになった少なくとも１つの光学要素とを含むマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系に関する。【選択図】図７
Inventors:
Zenger Ingo
Schlezener Frank
Schlezener Frank
Application Number:
JP2015502109A
Publication Date:
April 30, 2015
Filing Date:
March 29, 2012
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
H01L21/027; G02B19/00; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2006173305A | 2006-06-29 | |||
| JP2014139677A | 2014-07-31 | |||
| JP2011199285A | 2011-10-06 | |||
| JP2007500432A | 2007-01-11 | |||
| JP2000331927A | 2000-11-30 | |||
| JP2000331927A | 2000-11-30 | |||
| JP2011199285A | 2011-10-06 | |||
| JP2007500432A | 2007-01-11 | |||
| JP2006173305A | 2006-06-29 | |||
| JP2014139677A | 2014-07-31 |
Foreign References:
| US20090027646A1 | 2009-01-29 | |||
| US20090027646A1 | 2009-01-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Tsujii
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura