Title:
ドライ真空ポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023552328
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】ドライ真空ポンプは、特定のポンプ用途では、少なくとも断続的に、大量のガス流を吸収する能力が必要である。これらの過渡段階において引き起こされる熱膨張と軸のたわみ動作の現象が蓄積すると、一対のロータ間またはロータとステータの間に半径方向の接触が発生する可能性がある。【解決手段】少なくとも１つのポンプステージ（３ａ～３ｅ）と、少なくとも１つの前記ポンプステ－ジ内で回転するように構成された一対のロータ（７）を備え、前記一対のロータは、前記真空ポンプの少なくとも１つのモータ（９）によって回転するように構成されているドライ真空ポンプ（１）において、前記真空ポンプ（１）は、少なくとも一対の二重軸受（１３ａ、１３ｂ）を有し、前記二重軸受（１３ａ、１３ｂ）の各々は、それぞれ前記ロータを支持するための少なくとも１つの永久磁石磁気軸受（１４ａ、１４ｂ）および少なくとも１つの滑り軸受（１５ａ、１５ｂ）を有する。【選択図】図１
Inventors:
Thierry Neil
Lucas Rey
Laurent Bizet
Lucas Rey
Laurent Bizet
Application Number:
JP2023532464A
Publication Date:
December 15, 2023
Filing Date:
November 23, 2021
Export Citation:
Assignee:
Pfeiffer Bakyum
International Classes:
F04C29/00; F04C18/16; F16C17/02; F16C32/00; F16C33/12
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Sanei International Patent Office