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Title:
オービトロンポンプ、およびオービトロンポンプを用いた電子線装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014132758
Kind Code:
A1
Abstract:
オービトロンポンプの長寿命化を実現する。アノード（１）、カソード（２）及び電子放出用フィラメント（３）がポンプチャンバ（４）の内部に配置されたオービトロンポンプにおいて、カソード（２）の表面に非蒸発ゲッター材料があるようにする。そうすると、カソードの体積を増やすことにより、排気速度低下やガス放出量増加などのポンプ性能低下を起こすことなくポンプの長寿命化を実現できる。

Inventors:
Minoru Kaneda
Hiroyuki Ito
Hisaya Murakoshi
Application Number:
JP2015502831A
Publication Date:
February 02, 2017
Filing Date:
February 05, 2014
Export Citation:
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Assignee:
Hitachi High-Technologies Corporation
International Classes:
H01J41/16; F04B37/02; H01J37/18
Domestic Patent References:
JPS4422144B1
JP2010073413A2010-04-02
JPH07254388A1995-10-03
JPH0765762A1995-03-10
Attorney, Agent or Firm:
Manabu Inoue
Yuji Toda
Shigemi Iwasaki



 
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