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Title:
リコール部を有する研削/研磨装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023521611
Kind Code:
A
Abstract:
研削機/研磨機が、試料ホルダーと、プラテンと、試料ホルダー及びプラテンのうちの少なくとも一方を移動させるように構成されるアクチュエーターと、入力装置と、機械可読記憶装置と、コントローラーとを備える。入力装置は、複数のクイックリコール入力部を含み、研削/研磨パラメーターを表す研削/研磨パラメーター入力を受信するように構成される。研削/研磨パラメーターは、サイクル時間、プラテン速度、試料速度、プラテン方向、試料方向、及び印加される負荷のうちの少なくとも2つを含む。クイックリコール入力部は、ユーザーパラメーター入力部と同じインターフェース上で選択可能である。コントローラーは、入力装置によって受信された入力に基づいて、ユーザーが選択した複数の研削/研磨パラメーターを機械可読記憶装置に保存し、パラメーターをクイックリコール入力部のうちの1つに関連付け、クイックリコール入力部の選択に応答して、パラメーターを構成し、パラメーターに応じて動作を実行するように構成される。【選択図】図2

Inventors:
Michael E. Keble
Application Number:
JP2022559725A
Publication Date:
May 25, 2023
Filing Date:
March 23, 2021
Export Citation:
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Assignee:
Illinois Tours Works Inc.
International Classes:
B24B37/005; B23Q15/013; B24B37/10; B24B55/02; B24B57/02
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Shinji Mihashi
Yuichi Morimoto
Keiji Akagi