Title:
有機金属化合物含有ガスの供給装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015145907
Kind Code:
A1
Abstract:
【課題】長期間にわたって安定的に有機金属化合物含有ガスが供給可能な有機金属化合物の供給装置を提供する。【解決手段】有機金属化合物含有ガスの供給装置１は、容器１０と、供給部１３と、高比重物とを備える。容器１０は、内部空間１０ａと、キャリアガスの導入口１０ｂと、排出口１０ｃとを有する。導入口１０ｂは、内部空間１０ａの下部に接続されている。排出口１０ｃは、内部空間１０ａの上部に接続されている。供給部１３は、内部空間１０ａに位置している。供給部１３には、有機金属化合物含有粒子と充填材との混合物が配されている。高比重物は、内部空間１０ａにおいて、供給部１３の上に配されている。高比重物は、有機金属化合物含有粒子よりも高比重である。【選択図】図１
Inventors:
Masashi Shirai
Chihiro Hasegawa
Koji Takebayashi
Jin Yoshitomi
Chihiro Hasegawa
Koji Takebayashi
Jin Yoshitomi
Application Number:
JP2016509916A
Publication Date:
April 13, 2017
Filing Date:
December 25, 2014
Export Citation:
Assignee:
Ube Industries,Ltd.
International Classes:
C23C16/448; B01J7/00; H01L21/205
Domestic Patent References:
| JPH08250440A | 1996-09-27 | |||
| JP2007314878A | 2007-12-06 | |||
| JP2004140328A | 2004-05-13 | |||
| JPH0314166U | 1991-02-13 | |||
| JP2007314878A | 2007-12-06 | |||
| JPH08250440A | 1996-09-27 | |||
| JPH0314166U | 1991-02-13 | |||
| JP2004140328A | 2004-05-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Kazutoshi Nakayama