Title:
フィルタ逆洗システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024013131
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】 逆洗効果の大幅な向上が図られるとともに、集塵方向の空気の流れを一定に維持した状態で、逆洗時における逆洗エアの噴出によって発生する逆洗圧力の伝播をなくし、半導体装置や精密加工機械等の粉塵発生源への逆流を阻止することができるフィルタ逆洗システムを提供する。【解決手段】 本発明のフィルタ逆洗システムは、集塵機１内に隔壁７によって形成されるクリーン室８内に配設されるフィルタ逆洗用バルブ１０と、フィルタ室３内に配設される複数のフィルタＦを収容する複数のフィルタケース４と、フィルタケース４の蓋体５と、蓋体５の開閉手段５０とを含んで成り、フィルタ室３とクリーン室８がフィルタＦの上端開口部４１によって連通され、フィルタ逆洗用バルブ１０に係るシリンダ本体１１を下降させてフィルタＦの上端開口部４１を閉塞し、蓋体５を閉じてフィルタケース４を密閉した上で、フィルタＦに逆洗エアを噴出する。【選択図】 図１
Inventors:
Takeshi Arai
Application Number:
JP2022115095A
Publication Date:
January 31, 2024
Filing Date:
July 19, 2022
Export Citation:
Assignee:
WMS Co., Ltd.
International Classes:
B01D46/71; B01D46/24
Attorney, Agent or Firm:
Takanobu Nakagoshi