Title:
流体制御装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024041981
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】直列接続した複数の圧電ポンプの温度変化率を小さくする。【解決手段】流体制御装置は、第１ポンプ、第２ポンプ、容器、第１連通路、第２連通路、および、第１制御部を備える。第１ポンプは第１孔と第２孔とを有し、第２ポンプは第３孔と第４孔とを有する。第１連通路は第２孔と第３孔とを連通し、第２連通路は第４孔と容器とを連通する。第１制御部は第１ポンプと第２ポンプとの駆動を開始または停止する。第１制御部は第１ポンプと第２ポンプにおける流体の上流側のポンプの駆動開始タイミングを流体の下流側のポンプの駆動開始タイミングよりも早くし、流体の下流側のポンプの駆動電圧を流体の上流側のポンプの駆動電圧より高くすることで、流体の下流側のポンプの電流値を駆動電圧の変化前の電流値より高くし、上流側のポンプの定常動作の電流値と下流側のポンプの定常動作の電流値との電流差を電流値が低い方から見て２０％以内にする。【選択図】図１
Inventors:
Kenjiro Okaguchi
Hiroki Achiha
Hiroki Achiha
Application Number:
JP2024006495A
Publication Date:
March 27, 2024
Filing Date:
January 19, 2024
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
G05D7/06; F04B49/06
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Kaede International Patent Office
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