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Title:
A formation method of a memory cell and a memory cell
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6259835
Kind Code:
B2
Inventors:
保田 周一郎
ロックレイン,ノエル
シルス,スコット イー.
ラマスワミ,ドゥライ ヴィシャーク ニルマル
タオ,チエン
Application Number:
JP2015552636A
Publication Date:
January 10, 2018
Filing Date:
December 11, 2013
Export Citation:
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Assignee:
マイクロン テクノロジー, インク.
International Classes:
H01L21/8239; H01L27/105; H01L45/00; H01L49/00
Domestic Patent References:
JP2003347297A
JP2011134909A
JP2012523119A
JP2010062247A
JP2012064808A
JP2013211411A
JP2011187925A
JP2013016529A
JP2009146478A
Foreign References:
US20110297927
US20130001496
Attorney, Agent or Firm:
大菅 義之
野村 泰久