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Title:
ガスバリア性フィルムおよび電子デバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015005198
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、高いガスバリア性を有し、過酷な高温高湿条件下においても、高い耐久性を有するガスバリア性フィルムを提供することを目的とする。本発明は、基材、及び前記基材上に少なくとも1層のガスバリア層を有するガスバリア性フィルムであって、前記ガスバリア層は、少なくとも1層の下記化学式(1):SiAlwOxNyCz・・・(1)(式中、w、x、y、及びzは、前記ガスバリア層の膜厚方向で測定されるアルミニウム、酸素、窒素、及び炭素のそれぞれケイ素に対する元素比であり、yは、前記ガスバリア層の膜厚方向で測定される窒素のケイ素に対する元素比の最大値であって、下記数式(1)を満たし、かつ、前記窒素のケイ素に対する元素比の値が最大値となる測定点におけるw、x及びzはそれぞれ、下記数式(2)〜(4)を満たす、0.05≦y≦0.20・・・数式(1)0.07≦w≦0.20・・・数式(2)1.90≦x≦2.40・・・数式(3)0.00≦z≦0.20・・・数式(4))で表される化学組成を有するガスバリア層Aを含む、ガスバリア性フィルムである。

Inventors:
Takahiro Mori
Application Number:
JP2015526285A
Publication Date:
March 02, 2017
Filing Date:
July 02, 2014
Export Citation:
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Assignee:
Konica Minolta Co., Ltd.
International Classes:
B32B27/00; H01L51/50; H05B33/02; H05B33/04
Domestic Patent References:
JP2005131858A2005-05-26
JP2000054117A2000-02-22
JP2002361778A2002-12-18
Foreign References:
WO2012090644A12012-07-05
Attorney, Agent or Firm:
Hatta International Patent Corporation