Title:
ガス供給装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7127792
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】成分ガスとキャリアガスとの混合ガスを、コンパクトな装置構成で効率よく供給する。【解決手段】混合ガス供給装置１が、液体成分とキャリアガスとを加熱し、液体成分が気化した成分ガスとキャリアガスとの混合ガスを生成する蒸発器１０、及び蒸発器１０で生成された混合ガスを冷却し、過飽和分を凝縮分離させた成分ガスとキャリアガスとの混合ガスを供給する冷却器３０を備える。蒸発器１０は、シェルアンドチューブ型加熱機構を備え、蒸発器１０の胴１１内には、キャリアガスのバブリング用の孔１６Ｈ、１７Ｈが複数箇所に開いたキャリアガス用チューブ１６、１７が水平方向に伸び、蒸発器１０の胴１１の下部には液体成分供給口２０が設けられ、蒸発器１０の胴１１の上部には、液体成分が気化した成分ガスとキャリアガスとの混合ガスを送出する送出口２３が設けられ、冷却器３０の下部が蒸発器１０の送出口２３と配管３１で連続する。【選択図】図１
Inventors:
Shuhei Marutani
Mitsutake Miura
Mitsutake Miura
Application Number:
JP2022077155A
Publication Date:
August 30, 2022
Filing Date:
May 09, 2022
Export Citation:
Assignee:
Toyoko Chemical Co., Ltd.
Techno Bundary Co., Ltd.
Techno Bundary Co., Ltd.
International Classes:
B01J7/02; C23C16/24; C23C16/452
Domestic Patent References:
| JPH08187427A | 1996-07-23 | |||
| JP2000319095A | 2000-11-21 | |||
| JP2010284628A | 2010-12-24 | |||
| JP2013115208A | 2013-06-10 | |||
| JP2012000537A | 2012-01-05 |
Attorney, Agent or Firm:
Taji U.S. Patent Office
Previous Patent: Channel system for backwater countermeasures
Next Patent: INSTALLING STRUCTURE OF STATIONARY ENGINE
Next Patent: INSTALLING STRUCTURE OF STATIONARY ENGINE