Title:
A grid, a manufacturing method for the same, and an ion beam processing unit
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5970143
Kind Code:
B1
Abstract:
加工が容易で、孔の加工時に孔の壁面に炭素繊維の突出部が形成されにくいグリッドを提供する。孔（２０２）を有する板状のグリッド（２００）であって、前記グリッド（２００）は、前記グリッド（２００）の面方向にランダムな向きに配置された炭素繊維を含むカーボン／カーボンコンポジットを材料とするものであり、前記グリッド（２００）の孔（２０２）は、前記炭素繊維を切断するように形成されている。
Inventors:
Koji Tsujiyama
Yukito Nakagawa
Yasumatsu Yasushi
Yukito Nakagawa
Yasumatsu Yasushi
Application Number:
JP2016508887A
Publication Date:
August 17, 2016
Filing Date:
November 25, 2015
Export Citation:
Assignee:
Canon ANELVA Corporation
International Classes:
H01J27/16; H01J9/14; H01J37/08
Domestic Patent References:
| JP2013115012A | 2013-06-10 |
Foreign References:
| US5548953A | 1996-08-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Okabe
Koji Yoshizawa
Haruhiko Mimura
Tomoki Kubota
Yoichi Okabe
Koji Yoshizawa
Haruhiko Mimura
Tomoki Kubota
Yoichi Okabe