Title:
研削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024000060
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】研削装置のメンテナンスにかかる作業の効率を高められるとともに、省スペース化に有利な研削装置を提供する。【解決手段】被加工物を研削する際に用いられる研削装置であって、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、複数の研削砥石が環状に配列された研削ホイールが装着されるスピンドルを有する研削ユニットと、研削ユニットに対面する開口部、及び開口部を覆うことができる扉を有し、チャックテーブル及び研削ユニットの両方を覆う外装カバーと、を含み、開口部が扉によって覆われる閉状態で研削ユニットに対面する扉の内側の面には、閉状態で研削ユニットと干渉しないように折り畳まれる作業台が設けられている。【選択図】図３
More Like This:
Inventors:
Yuto Maeda
Application Number:
JP2022098584A
Publication Date:
January 05, 2024
Filing Date:
June 20, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B55/00; B23Q11/08; B23Q13/00; B24B7/04; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato