Title:
研削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024008991
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】研削砥石のドレス量を正確に測定する研削装置を提供する。【解決手段】研削装置１は、研削砥石２１が設けられて研削砥石２１とともに回転する砥石スピンドル２２と、砥石スピンドル２２に設けられた切り欠き５３ａと切り欠き５３ａに嵌合可能なピン５３ｂとを備え、砥石スピンドル２２を同一の停止位置で停止するように砥石スピンドル２２の回転を規制する規制手段５と、ドレスボード３１によるドレス実施前後に停止位置に対応する測定位置において研削砥石２１の厚みを測定して、研削砥石２１のドレス量を測定する第１のセンサ２５と、を備えている。【選択図】図３
Inventors:
Takuma Hosono
Application Number:
JP2023187379A
Publication Date:
January 19, 2024
Filing Date:
November 01, 2023
Export Citation:
Assignee:
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
International Classes:
B24B49/18; B24B7/04; B24B49/10; B24B53/00; B24B53/12; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Takamitsu Shimizu