Title:
研削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024046843
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】円弧状の被研削領域に対してより効率的に研削水を供給する。【解決手段】第１方向に沿って長手部が配置されたスピンドルを有し、スピンドルの下端部に研削ホイールが装着される研削ユニットと、第１方向に面して配置された保持面を有し、第１方向と直交する第２方向に沿って研削ユニットに対して相対的に移動可能なチャックテーブルと、研削ホイールの外側から保持面上に向かって研削水を供給する研削水供給ユニットと、を備え、研削水供給ユニットは、第１方向及び第２方向の両方に直交する第３方向に沿って長手部が配置された筐体を有し、筐体には第３方向に沿って複数の噴射口が設けられており、各噴射口の高さ位置、各噴射口の大きさ、又は、各噴射口に接する流路の端部の向きに応じて、研削水の保持面上での着地点が研削ホイールの外周の一部に対応する円弧状になる様に複数の噴射口から研削水を噴射する研削装置を提供する。【選択図】図５
Inventors:
Hiroyo Maeda
Application Number:
JP2022152170A
Publication Date:
April 05, 2024
Filing Date:
September 26, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B55/02; B24B7/04; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato