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Title:
感光性樹脂組成物及びそれより調製される硬化膜
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018533761
Kind Code:
A
Abstract:
感光性樹脂組成物及びそれから調製された硬化膜が本明細書に開示される。本感光性樹脂組成物は、強い撥水性を有するフッ素原子を含むシロキサンポリマーを、一般的なシロキサンポリマー及びエポキシ化合物を含む組成物に導入し、フッ素基は、硬化した膜の全領域に存在することができ、これにより、硬化した膜の表面の除去がドライエッチングプロセスにより除去された後でさえも、フッ素成分による撥水性が維持され得る。その結果、後処理で使用される化学物質に対する耐性(化学耐性)が最大化されて、優れた安定性を有する硬化膜を提供することができる。【選択図】なし

Inventors:
John-Ho Na
Kung Ho
Jin Kwon
John Han Yang
Application Number:
JP2018518606A
Publication Date:
November 15, 2018
Filing Date:
September 22, 2016
Export Citation:
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Assignee:
Rohm and Haas Electronic Materials Korea Limited
International Classes:
G03F7/075; G03F7/023; G03F7/20
Domestic Patent References:
JP2007041361A2007-02-15
JP2013006265A2013-01-10
JP2012018390A2012-01-26
JP2004185000A2004-07-02
JP2008007410A2008-01-17
Foreign References:
WO2013133392A12013-09-12
WO2015064601A12015-05-07
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Sender International Patent Office