Title:
熱型赤外線センサおよびガス測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016002499
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、温度変化を電気信号として出力する熱型検出層と、前記熱型検出層の受光面側に設けられた受光面電極と、前記熱型検出層の前記受光面電極と反対側に設けられた裏面電極とを含む検出素子を備え、前記受光面電極は、試料ガスの吸収波長の赤外線を選択的に吸収する周期構造を有することを特徴とする、ガス測定用の熱型赤外線センサである。
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Inventors:
Junya Komoda
Yamamoto Kansho
Yamamoto Kansho
Application Number:
JP2016531244A
Publication Date:
May 25, 2017
Filing Date:
June 16, 2015
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
G01J1/04; G01J1/02; G01N21/3504; H01L37/02
Domestic Patent References:
| JP2009175124A | 2009-08-06 | |||
| JP2000503122A | 2000-03-14 | |||
| JP2009175124A | 2009-08-06 | |||
| JP2000503122A | 2000-03-14 |
Foreign References:
| US20100067016A1 | 2010-03-18 |
Other References:
小川新平，他: "“プラズモニクスによる波長選択型非冷却赤外センサ”", 三菱電機技報, vol. 87, no. 6, JPN6015036191, 25 June 2013 (2013-06-25), pages 353 - 356
小川新平，他: "“プラズモニクスによる波長選択型非冷却赤外センサ”", 三菱電機技報, vol. 87, no. 6, JPN6015036191, 25 June 2013 (2013-06-25), pages 353 - 356
小川新平，他: "“プラズモニクスによる波長選択型非冷却赤外センサ”", 三菱電機技報, vol. 87, no. 6, JPN6015036191, 25 June 2013 (2013-06-25), pages 353 - 356
Attorney, Agent or Firm:
Fukami patent office
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