Title:
高周波電源及びその制御方法、並びにプラズマ処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4131793
Kind Code:
B2
Inventors:
Toshiyasu Hayami
Go Ose
Junichi Takahira
Junichi Shimada
Go Ose
Junichi Takahira
Junichi Shimada
Application Number:
JP2001375961A
Publication Date:
August 13, 2008
Filing Date:
December 10, 2001
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
株式会社 東京ハイパワー
株式会社 東京ハイパワー
International Classes:
H05H1/00; H05H1/46; H01L21/302; H01L21/3065
Domestic Patent References:
| JP2003139804A | ||||
| JP2000269196A | ||||
| JP2000156370A | ||||
| JP7074159A | ||||
| JP10041281A | ||||
| JP7505973A | ||||
| JP2003017296A | ||||
| JP2001516940A | ||||
| JP9139377A |
Attorney, Agent or Firm:
Another role Shigehisa
Satoshi Muramatsu
Natsuki Goto
Hiroshi Ikeda
Hiroyasu Ninomiya
Satoshi Muramatsu
Natsuki Goto
Hiroshi Ikeda
Hiroyasu Ninomiya