Title:
ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015512560
Kind Code:
A
Abstract:
ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、リソグラフィマスクを配置することができる照明視野に向けて照明光（１６）を案内するように機能する。照明光学ユニットは、複数の個々のミラー（２６）を有する第１のファセットミラーを有する。個々のミラー（２６）は、照明光部分ビーム（１６i）を照明視野に向けて案内するための照明チャネル（４３）を予め定める。第１のファセットミラーの下流には、照明光学ユニットの第２のファセットミラーが配置され、この第２のファセットミラーは、複数のファセット（３４）を有する。複数のファセット（３４）は、物体視野内への視野ファセットミラーの個々のミラー（２６）の群（２４ａ）の群ミラー照明チャネル（３５）を通しての結像にそれぞれ寄与する。群ミラー照明チャネル（３５）は、個々のミラー群（２４ａ）の個々のミラー照明チャネル（４３）を含む。割り当てられた群ミラー照明チャネル（３５）を通して、異なる個々のミラー群（２４ａ）の像は、物体視野（５）内で互いの上に重ね合わされる。個々のミラー群（２４ａ）の個々のミラー（２６）は、物体視野内への個々のミラー群（２４ａ）の結像中に第２のファセットミラーのファセット（３４）に対する第１のファセットミラーの個々のミラー群（２４ａ）のそれぞれの割り当てに依存して発生する結像収差が少なくとも部分的に補償されるように配置される。これは、異なる照明チャネルを通して照明視野内に案内される照明光の最適な重ね合わせを可能にする照明光学ユニットをもたらす。【選択図】図１１
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Inventors:
Patra Michael
Application Number:
JP2015500838A
Publication Date:
April 27, 2015
Filing Date:
March 11, 2013
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
H01L21/027; G02B19/00
Domestic Patent References:
| JP2010219522A | 2010-09-30 | |||
| JP2013533632A | 2013-08-22 | |||
| JP2009535827A | 2009-10-01 | |||
| JP2011512659A | 2011-04-21 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Tsujii
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
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