Title:
石英ガラス円筒体の内面研磨方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4256516
Kind Code:
B2
Inventors:
水野 徹
須釜 明彦
須釜 明彦
Application Number:
JP3879199A
Publication Date:
April 22, 2009
Filing Date:
February 17, 1999
Export Citation:
Assignee:
信越石英株式会社
株式会社アトック
株式会社アトック
International Classes:
B24B5/40; C03B20/00; B24B29/00; C03B37/012; C03C19/00; H01L21/22
Attorney, Agent or Firm:
石原 詔二