Title:
高圧力で作動する電離真空計
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015507203
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】高圧力で作動するときに、スパッタリングで生じる堆積物の位置を制御しながら圧力を測定する電離真空計を提供する。【解決手段】電離真空計１００は、電子を放出する少なくとの一つの電子源１０５と、電離空間を形成する陽極構造体１２０とを含む。さらに、電離真空計１００は、電離空間における、電子と、気体分子及び原子との衝突によって生成されるイオンを収集して、気体圧力を出力するコレクター電極１１０を含む。電子源１０５を電離空間の一つの端部に配置して、スパッタリングされたコレクター電極１１０や外被２０５の表面から飛び出た原子の流れに対して電子源１０５が曝されるのを最小限にすることができる。【選択図】図２
Inventors:
ブラッカー・ジェラルド・エー
Application Number:
JP2014556686A
Publication Date:
March 05, 2015
Filing Date:
February 07, 2013
Export Citation:
Assignee:
エム ケー エス インストルメンツインコーポレーテッドＭＫＳ ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
International Classes:
G01L21/32
Domestic Patent References:
| JP2012503199A | 2012-02-02 | |||
| JP2011508211A | 2011-03-10 | |||
| JP2011513709A | 2011-04-28 | |||
| JP2005062176A | 2005-03-10 | |||
| JP6031502B2 | 2016-11-24 | |||
| JP5728728B2 | 2015-06-03 | |||
| JP5762749B2 | 2015-08-12 |
Attorney, Agent or Firm:
Shuji Sugimoto
Masashi Noda
堤 Tateo
Kumiko Hayashida
Yuka Kobayashi
Masashi Noda
堤 Tateo
Kumiko Hayashida
Yuka Kobayashi