Title:
マンガン含有化合物、その合成及びマンガン含有膜の堆積へのその使用
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016508497
Kind Code:
A
Abstract:
マンガン含有化合物、その合成及びマンガン含有膜の堆積へのその使用を開示する。開示のマンガン含有化合物は式（Ｉ）及び式（ＩＩ）の一方を有する：【化６】（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５は各々独立して水素、ハロゲン、直鎖、環状又は分岐炭化水素、第一級アミノリガンド（−ＮＨＲ）及び第二級アミノリガンド（−ＮＲＲ’）からなる群から選択され、Ｒ及びＲ’は独立してＨ又は直鎖、環状若しくは分岐炭化水素であるが、ただし、式Ｉ中のＲ１、Ｒ２又はＲ３及び式ＩＩ中のＲ４又はＲ５の少なくとも１つがアミノリガンドである）。【選択図】なし
Inventors:
Gatino Noriko
Application Number:
JP2015555839A
Publication Date:
March 22, 2016
Filing Date:
January 31, 2014
Export Citation:
Assignee:
Rail Liquide-Societe Anonym Pools Retude e Rex Prosatation de Procede Georges Claude
International Classes:
C07F19/00; C07F13/00; C23C16/18; C23C16/30; H01L21/316
Attorney, Agent or Firm:
Mitsue Obuchi
Yukio Fuse
Yukio Fuse