Title:
光電変換素子の製造装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2011158525
Kind Code:
A1
Abstract:
小スペースで可撓性基板に対するアニール処理を効率良く行うことによって、装置占有面積と処理時間の増大を最小限に抑え、高い生産性を確保しながら、光電変換素子の電気特性を向上させることが可能な光電変換素子の製造装置を提供することにある。本発明は、可撓性基板１上に光電変換素子と透明導電膜を形成し、その後、可撓性基板１を巻取り室５に搬送して、巻取り室５に配置されている巻取りロール８に巻取るようにした光電変換素子の製造装置において、巻取り室５には、成膜後に巻取り中の可撓性基板１に対してアニール処理を行う加熱機構のロールコアヒータ１１が設けられている。
Inventors:
Taketo Tsuji
Application Number:
JP2012520304A
Publication Date:
August 19, 2013
Filing Date:
February 16, 2011
Export Citation:
Assignee:
Fuji Electric Co., Ltd.
International Classes:
H01L31/04; F27D11/02
Attorney, Agent or Firm:
Shoichi Okuyama
Arihara Koichi
Matsushima Tetsuo
Arihara Koichi
Matsushima Tetsuo