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Patent Searching and Data


Title:
A manufacturing method including a membrane formation process by evaporation apparatus and an evaporation apparatus
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6019310
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】立体的な形状を有するワークのそれぞれの面の蒸着量のばらつきを小さくすることのできるトレイ保持具を提供する。【解決手段】トレイ保持具は、蒸着装置のドームに固定される固定部（１１００）と、該固定部に回転可能に支えられた第１の内部伝達軸（１１２１）と、該固定部に回転可能に支えられた揺動軸（１１０９）に固定され、揺動するように構成された揺動部（１２００）と、該第１の内部伝達軸にユニバーサルジョイント（１１２３）で結合され、該揺動部に回転可能に支えられた第２の内部伝達軸（１１２５）と、該第２の内部伝達軸によって支えられ、トレイを保持するように構成された回転部（１３００）と、を備え、該第１の内部伝達軸が外部から回転されると、該回転部が、該第２の内部伝達軸とともに回転し、該揺動部とともに揺動するように構成されている。【選択図】図７

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Inventors:
Toshiro Higuchi
Hiroshi Ueno
Hitoshi Kimura
Application Number:
JP2015084205A
Publication Date:
November 02, 2016
Filing Date:
April 16, 2015
Export Citation:
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Assignee:
Nalux Co., Ltd.
International Classes:
C23C14/24; C23C14/50; F16H7/06; F16H21/34
Domestic Patent References:
JP2008138276A2008-06-19
JP2009084638A2009-04-23
JP5793737B12015-10-14
JPS62270768A1987-11-25
JPH04329869A1992-11-18
JPH09143717A1997-06-03
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Attorney, Agent or Firm:
Naoya Fushimi



 
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