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Patent Searching and Data


Title:
A manufacturing method of a nano crystal carbon independence thin film
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6224573
Kind Code:
B2
Inventors:
バート ブイス
ラドスティン ストヤノフ ダネフ
カシム ステファン サデル
Application Number:
JP2014244984A
Publication Date:
November 01, 2017
Filing Date:
December 03, 2014
Export Citation:
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Assignee:
エフ イー アイ カンパニ
FEI COMPANY
マックス プランク ゲゼルシャフト ツール フォーデルング デル ヴィッセンシャフテン
International Classes:
C01B32/205; C01B32/154; H01J37/20; H01J37/295
Domestic Patent References:
JP2013121894A
JP2011026194A
JP2013164419A
Foreign References:
US20130313428
DE102011014399A1
US20010038909
WO2010090343A1
WO2013096036A1
WO2011102473A1
US20120261588
US20110200787
Attorney, Agent or Firm:
伊東 忠重
伊東 忠彦
大貫 進介