Title:
A manufacturing method of a thermoelement and a thermoelement
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6147901
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】エミッタ−コレクタ電極間の超微小ギャップ形成を、簡便なプロセスで精度よく実現するとともに、安定した出力電流が得られる熱電素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】エミッタ電極層と、コレクタ電極層と、前記エミッタ電極層及び前記コレクタ電極層の表面に分散して配置され、前記エミッタ電極層及び前記コレクタ電極層をサブミクロン間隔で離間する電気絶縁性の球状ナノビーズとを備え、前記エミッタ電極層の仕事関数は前記コレクタ電極層の仕事関数よりも小さく、前記球状ナノビーズの粒子径は１００ｎｍ以下である、熱電素子。【選択図】図３
Inventors:
Hiroshi Goto
Application Number:
JP2016150345A
Publication Date:
June 14, 2017
Filing Date:
July 29, 2016
Export Citation:
Assignee:
Gce Institute Co., Ltd.
International Classes:
H01L37/00; B82Y30/00; B82Y40/00; H01L29/06
Domestic Patent References:
| JP2005539401A | 2005-12-22 | |||
| JP2002303465A | 2002-10-18 | |||
| JP2008205181A | 2008-09-04 | |||
| JP2002533185A | 2002-10-08 | |||
| JP2002537658A | 2002-11-05 | |||
| JP2012533185A | 2012-12-20 | |||
| JP2002540636A | 2002-11-26 | |||
| JP2007037318A | 2007-02-08 | |||
| JP2005150230A | 2005-06-09 | |||
| JP2008538861A | 2008-11-06 | |||
| JP2007037319A | 2007-02-08 | |||
| JP2005116736A | 2005-04-28 |
Foreign References:
| WO2005036662A1 | 2005-04-21 |
Attorney, Agent or Firm:
Iwaike Mitsuru
Kazuhiro Suganuma
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