Title:
共通のシャフト上にターボ分子ポンプおよびブースターポンプを有する質量分析式漏洩検出器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019523882
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】質量分析式漏洩検出器において、汚染防止のためターボモレキュラーポンプの駆動部を質量分析計から分離する。【解決手段】多段式のターボ分子ポンプ１２と、その吸込側に接続された質量分析計１７と、正圧側に接続された予備真空ポンプ１８と、吸込側が被検体に対するコネクタ２８を有し、正圧側がガス導通路２２を介してターボ分子ポンプ１２の正圧側と、予備真空ポンプ１８の吸込側とに接続されているブースターポンプステージ２４と、を備えた質量分析式漏洩検出器において、ターボ分子ポンプ１２のステージ３０，３２およびブースターポンプステージは、共通のシャフト上に配置されて共通の駆動部３４を有し、被検体に接続可能なブースターポンプステージの正圧側と、質量分析計１７に接続されたターボ分子ポンプ１２のポンプステージの吸込側との間において、分離部３６がガス導通路を遮断する構成とする。【選択図】図２
Inventors:
Grose Bray Werner
Bohm Thomas
Bruns Yarmar
Bohm Thomas
Bruns Yarmar
Application Number:
JP2018565830A
Publication Date:
August 29, 2019
Filing Date:
June 13, 2017
Export Citation:
Assignee:
Inficon GmbH
International Classes:
G01M3/20; F04D19/04; F04D25/16; F04D29/70
Domestic Patent References:
| JP2006525498A | 2006-11-09 | |||
| JP2006515666A | 2006-06-01 | |||
| JPH02110335A | 1990-04-23 | |||
| JPS5125158A | 1976-03-01 | |||
| JPH10513561A | 1998-12-22 | |||
| JP2006514288A | 2006-04-27 | |||
| JPH08500675A | 1996-01-23 | |||
| JP2011069834A | 2011-04-07 | |||
| JPH1090104A | 1998-04-10 |
Foreign References:
| US5703281A | 1997-12-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Shuji Sugimoto
Masashi Noda
Kenro Tsutsumi
Kumiko Hayashida
Yuka Kobayashi
Kenichi Nakata
Daisuke Kaneko
Hiroki Taniguchi
Masashi Noda
Kenro Tsutsumi
Kumiko Hayashida
Yuka Kobayashi
Kenichi Nakata
Daisuke Kaneko
Hiroki Taniguchi