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Patent Searching and Data


Title:
薬品用容器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024033690
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】半導体製造用の薬品用容器において、容器の薬品に接する面が化学的、物理的変化に対して安定しており、薬品の初期段階における純度を長期にわたって保持することのできる、優れた品質の容器を提供する。【解決手段】薬品を収容するための凹部が設けられた金属製の容器本体１と、前記凹部の内面を被覆するＤＬＣ層３、４からなる被覆層５を備え、前記被覆層５の厚みが１０～５０００ｎｍに設定されている、半導体製造用の薬品用容器である。【選択図】図２

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WO/2021/176913PROCESSING SOLUTION AND PROCESSING SOLUTION CONTAINER
Inventors:
Hiroshi Fukui
Application Number:
JP2022137439A
Publication Date:
March 13, 2024
Filing Date:
August 31, 2022
Export Citation:
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Assignee:
Mitsubishi Chemical Corporation
Jerest, Incorporated
International Classes:
H01L21/304; B65D8/00
Attorney, Agent or Firm:
Yukihiko Saitou
井▲崎▼ 愛佳
Yuko Nishito
Shigeyasu Terao



 
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