Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
A method for drying a thin film in the efficient mode of energy
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5936286
Kind Code:
B2
Inventors:
シュローダー, カート エー.
ローソン, イアン エム.
マックール, スティーブン シー.
エド, アンドリュー イー.
ダス, ロナルド アイ.
Application Number:
JP2014503687A
Publication Date:
June 22, 2016
Filing Date:
March 28, 2012
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
エヌシーシー ナノ, エルエルシー
International Classes:
F26B13/10; B05C9/14; F26B3/28; F26B23/04; F26B25/00
Domestic Patent References:
JP2009277759A
JP2009099758A
JP2008128567A
JP2010536602A
JP2009164201A
JP2008522369A
JP2010016356A
JP2005231262A
Foreign References:
US20100007285
WO2006015328A1
Attorney, Agent or Firm:
山本 秀策
森下 夏樹