Title:
ビームパルス内部の作業パラメータを変えることにより工作物に小孔を形成するための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017514701
Kind Code:
A
Abstract:
工作物（２２）に特に円錐形の孔（４８）を作製するための方法であって、以下のパラメータ群、即ちパルス長、ビーム径、ビーム電流、加速電圧、ビーム集束、電子ビーム（１２）のビーム軸からの偏向、工作物（２２）における電子ビーム（１２）の運動速度から選択した１つ以上の作業パラメータを変えることによって孔（４８）の輪郭形成と断面形状に影響を与えることができる。
Inventors:
Michael Hofner
Sven Jurgens
Sven Jurgens
Application Number:
JP2017500136A
Publication Date:
June 08, 2017
Filing Date:
March 19, 2015
Export Citation:
Assignee:
Pro-Beam Akchen Gesell Shaft Und Company Comandito Gesell Shaft Auf Actine
International Classes:
B23K15/00; B23K15/02; H01J37/30; H01J37/305
Domestic Patent References:
| JPS6324535A | 1988-02-01 | |||
| JPH07302542A | 1995-11-14 | |||
| JPH10508798A | 1998-09-02 |
Foreign References:
| US3632398A | 1972-01-04 | |||
| US3134892A | 1964-05-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Tetsuro Shimada
Shinji Mitsuhashi
Yasushi Ohashi
Kentaro Ito
Kazuo Maejima
Tetsuro Shimada
Shinji Mitsuhashi
Yasushi Ohashi
Kentaro Ito
Kazuo Maejima