Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
A method for manufacturing a very small electricity machinery converter
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016536154
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、以下のステップを備える、微小電気機械変換器を製造するための方法を提示する。各々１つのメンブレン（３）を備える複数の微小電気機械変換器（１）を１つの単一のウェーハ（１３）上に製造するステップ。上記ウェーハ（１３）を少なくとも、１つの第１の領域（１４）と１つの第２の領域（１５）とに区分化するステップ。上記第１の領域（１４）のメンブレン（３）のサンプル（１８）の機械的応力を確定し、所定の規定値と比較するステップ。上記第２の領域（１５）のメンブレン（３）のサンプル（１８）の機械的応力を確定し、所定の規定値と比較するステップ。このメンブレン（３）の機械的応力を、上記の第１の領域（１４）で所定の規定値に調整するステップ。このメンブレン（３）の機械的応力を、上記の第２の領域（１５）で所定の規定値に調整するステップ。【選択図】 図２

More Like This:
WO/2014/110760METHOD FOR PREPARING IN SITU PT-DOPED NIO ORDERED NANOWIRE ARRAY
JP6554047Silicone parts for fluid devices and their manufacturing methods
JP2005238540FLUID DRIVING DEVICE, MANUFACTURING METHOD FOR FLUID DRIVING DEVICE, ELECTROSTATICALLY DRIVEN FLUID DISCHARGING APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTROSTATICALLY DRIVEN FLUID DISCHARGING APPARATUS
Inventors:
Giesen, Marcel
Metzger, Thomas
Eckels, Philip
Schoiffer, ansgar
Application Number:
JP2016532278A
Publication Date:
November 24, 2016
Filing Date:
July 02, 2014
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
EPCOS AG
International Classes:
B81C1/00; G01L9/00; H01L29/84; H04R31/00
Domestic Patent References:
JP2002518913A2002-06-25
Foreign References:
US20080075306A12008-03-27
Attorney, Agent or Firm:
Koji Nagato



 
Previous Patent: The work support robot having the gripping device for work support robots, and such a device

Next Patent: A micro electromechanical device which generates a physical effect