Title:
真空ポンプシステム、及び真空ポンプシステムを作動させるための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020502410
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】本発明は、真空状態にするチャンバ(14)に連結されている主真空ポンプ(10)を備えた真空ポンプシステムに関する。補助ポンプ(12)が、主真空ポンプ(10)の出口に連結されている。更に密閉ガス供給装置が主真空ポンプに連結されている。密閉ガス供給装置は、制御装置(20)を用いて所定の制御変数に応じてオン及びオフに切り替えられる。本発明は更に、真空ポンプシステムを制御するための方法に関する。
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Inventors:
Pelican, max
Reinhard, Daniel
Gislotti, Raphael
Syrah, dark
Reinhard, Daniel
Gislotti, Raphael
Syrah, dark
Application Number:
JP2019531325A
Publication Date:
January 23, 2020
Filing Date:
November 23, 2017
Export Citation:
Assignee:
Reybold Game Behr
International Classes:
F04B37/16; F04C25/02; F04C27/00
Domestic Patent References:
| JP2015522754A | 2015-08-06 |
Foreign References:
| CN105484969A | 2016-04-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Hideno Kono
Nobuo Kono
Nobuo Kono