樹脂の製造方法、及び、感活性光線性又は感放射線性組成物の製造方法

Title:

樹脂の製造方法、及び、感活性光線性又は感放射線性組成物の製造方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JPWO2018079203

Kind Code:

A1

Abstract:

優れた解像性を有するレジスト膜を形成することができ、かつ、パターンを形成する際のスカムを低減することができる樹脂を製造することができる樹脂の製造方法、及び、感活性光線性又は感放射線性組成物の製造方法を提供する。樹脂の製造方法は、一般式（１）で表される繰り返し単位と、酸の作用により分解して極性基を生じる基を含有する繰り返し単位と、を含有する樹脂を製造し、一般式（２）で表される繰り返し単位と、酸の作用により分解して極性基を生じる基を含有する繰り返し単位と、を含有する樹脂前駆体を得る第一工程と、樹脂前駆体中の一般式（２）で表される繰り返し単位における−ＯＹで表される基を、酸又は塩基で脱保護して、一般式（１）で表される繰り返し単位を得る第二工程と、を含有する。

Inventors:

Akihiro Kaneko
Hirano Osamu
Wataru Futashi

Application Number:

JP2018547508A

Publication Date:

September 12, 2019

Filing Date:

October 02, 2017

Export Citation:

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