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Title:
光学結像装置の取付装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019517030
Kind Code:
A
Abstract:
光学結像装置（１０１）のコンポーネント（１１１）、特に光学コンポーネントを支持構造体（１０２．１）の支持ユニット（１１２）に接続する接続装置（１０９）であって、接続素子ユニット（１１０）を備えた接続装置（１０９）が提供される。接続素子ユニット（１１０）は、支持界面部（１１０．３）を有する支持界面端（１１０．１）と、コンポーネント界面部（１１０．４）を有するコンポーネント界面端（１１０．２）とを有する。支持界面部（１１０．３）は、支持ユニット（１１２）に対する機械的接続用の支持界面を形成するよう構成され、コンポーネント界面部（１１０．４）は、コンポーネント（１１１）に対する機械的接続用のコンポーネント界面を形成するよう構成される。接続素子ユニット（１１０）は、支持界面部（１１０．３）とコンポーネント界面部（１１０．４）との間の力流路を規定し、コンポーネント（１１１）が接続素子ユニット（１１０）を介して支持ユニット（１１２）により支持される際に、コンポーネント（１１１）を支持する支持力が力流路に沿って流れる。少なくとも１つの寄生負荷補償ユニット（１１４）が、コンポーネント界面部（１１０．４）付近で力流路の外部に位置付けられ、寄生負荷補償ユニット（１１４）は、接続素子ユニット（１１０）の熱膨張の結果として少なくとも１つの寄生負荷方向でコンポーネント（１１１）に導入される熱膨張誘起寄生負荷を低減及び／又は相殺するよう構成される。【選択図】図２

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Inventors:
Dirk Schaffer
Jens Procnow
Application Number:
JP2018560651A
Publication Date:
June 20, 2019
Filing Date:
May 17, 2016
Export Citation:
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Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B7/182; G02B7/192; G02B19/00
Domestic Patent References:
JP2003188066A2003-07-04
JPH11163441A1999-06-18
JP2013506978A2013-02-28
JP2007531251A2007-11-01
JP2005308779A2005-11-04
Foreign References:
US20070146906A12007-06-28
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Miyata Kousuke



 
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