Title:
部品交換システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024020263
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】消耗部品の交換に伴う処理装置の停止期間を短くする。【解決手段】第１の推定工程では、処理装置の消耗部品の交換時期が推定される。特定工程では、交換時期よりも前の期間において処理装置による基板の処理が最後に終了した後のタイミングが消耗部品の交換可能タイミングとして特定される。第２の推定工程では、部品運搬装置が消耗部品の交換が必要な処理装置の位置まで移動するのに要する第１の移動時間が推定される。第３の推定工程では、消耗部品の交換が必要な処理装置の位置に移動した部品運搬装置が消耗部品の交換が可能となる状態になるまでの準備に要する第１の準備時間が推定される。送信工程では、第１の移動時間および第１の準備時間の合計の時間分、交換可能タイミングから遡ったタイミングより前のタイミングで交換指示が部品運搬装置へ送信されることにより、部品運搬装置に消耗部品の交換が指示される。【選択図】図１５
Inventors:
Kazumoto Shigeyama
Kazuya Nagaseki
Toshiya Matsuda
Kazuya Nagaseki
Toshiya Matsuda
Application Number:
JP2023186802A
Publication Date:
February 14, 2024
Filing Date:
October 31, 2023
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
H01L21/677; H01L21/02; H01L21/205; H01L21/3065; H01L21/31
Attorney, Agent or Firm:
Sakai International Patent Office
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