Title:
位相差検出方法、インピーダンス検出方法、測定装置および同軸型インピーダンス整合装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4067876
Kind Code:
B2
Inventors:
Koichi Mukuroyama
Shigeru Kasai
Takashi Ogino
Yuki Nagata
Shigeru Kasai
Takashi Ogino
Yuki Nagata
Application Number:
JP2002158721A
Publication Date:
March 26, 2008
Filing Date:
May 31, 2002
Export Citation:
Assignee:
長野日本無線株式会社
東京エレクトロン株式会社
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
G01R25/00; G01R27/02; H01P5/02; H03H7/40; H05H1/46
Domestic Patent References:
| JP2001044780A | ||||
| JP2004173113A | ||||
| JP2004128141A | ||||
| JP5056091A | ||||
| JP2003101354A |
Foreign References:
| US4654806 |
Attorney, Agent or Firm:
Shinji Sakai