Title:
無水ナジック酸重合体及びそれに由来する感光性組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019524938
Kind Code:
A
Abstract:
無水ナジック酸の各種ビニル付加重合体が開示される。前記重合体の例には、無水ナジック酸と多種多様なノルボルネン型単量体との共重合体及び三元重合体が含まれる。無水ナジック酸重合体は、ポジ型とネガ型の両方の様々な感光性組成物の形成に有用である。前記組成物は、優れた誘電特性（ｌｏｗ−ｋ）及び熱特性を示す高解像度画像形成膜の形成が可能であるので、とりわけ、各種マイクロ電子デバイス及び光電子デバイスの製造に有用である。
Inventors:
Nap, Brian
Burns, Cheryl
Burns, Cheryl
Application Number:
JP2019503696A
Publication Date:
September 05, 2019
Filing Date:
July 28, 2017
Export Citation:
Assignee:
Promelas, LLC
International Classes:
C08F232/00; G03F7/004; G03F7/038; G03F7/039; G03F7/20; G03F7/32; G03F7/40
Attorney, Agent or Firm:
Makoto Abe
Michiko Oi
Seiji Tani
Michiko Oi
Seiji Tani