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Title:
感光性樹脂組成物、それを用いたドライフィルム、プリント配線板、及び、プリント配線板の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018179259
Kind Code:
A1
Abstract:
プロジェクション露光、直描露光機のいずれにも組成の微調整無しに適用可能であり、かつ、レジストパターン底部がえぐられるアンダーカット及びレジストパターン上部の欠落が発生しにくく、レジストパターン断面の深さ方向の中間部（中央部）及び最深部（底部）の線幅が表面部の線幅に対して大きくなりにくい（すなわち、レジストパターン輪郭の深さ方向の直線性が良好な）、優れた断面形状のレジストパターンを形成でき、更に、絶縁信頼性や耐クラック性などの信頼性に優れる感光性樹脂組成物、それを用いたドライフィルム、プリント配線板、及びプリント配線板の製造方法を提供する。（Ａ）酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）ベンゾフェノン化合物を含有する光重合増感剤、及び、（Ｄ）光重合性化合物、を含有する感光性樹脂組成物。

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Inventors:
Nobuhito Furumuro
Shiroshima Yuta
Masayuki Kojima
Shinji Irizawa
Shinya Osaki
Application Number:
JP2019508042A
Publication Date:
June 18, 2020
Filing Date:
March 30, 2017
Export Citation:
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Assignee:
Hitachi Chemical Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/027; C08F2/50; C08F290/14; G03F7/004; G03F7/028; G03F7/029; G03F7/031; G03F7/40; H05K1/03; H05K3/28
Domestic Patent References:
JP2013125138A2013-06-24
Foreign References:
WO2015016362A12015-02-05



 
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