Title:
プラズマ処理装置およびプラズマ安定度判定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5028192
Kind Code:
B2
Inventors:
Kunihiko Ikuhara
Daisuke Shiraishi
Akira Kagoshima
Takeshi Uchida
Yasuhiro Nishimori
Daisuke Shiraishi
Akira Kagoshima
Takeshi Uchida
Yasuhiro Nishimori
Application Number:
JP2007229878A
Publication Date:
September 19, 2012
Filing Date:
September 05, 2007
Export Citation:
Assignee:
Hitachi High-Technologies Corporation
International Classes:
H05H1/00; H01L21/3065; H05H1/46
Domestic Patent References:
| JP2006128304A | ||||
| JP8167588A | ||||
| JP8064394A | ||||
| JP2005116217A | ||||
| JP2006324316A | ||||
| JP2001319922A |
Other References:
T. Munsat and S. J. Zweben,Derivation of time-dependent two-dimensional velocity field maps for plasma turbulence studies,Review of Scientific Instruments,2006年,Vol.77/No.103501,p.1-13
Toru Iwao et al.,Plasma Image Processing of High Speed Arc Movement in a Rail-Gun,IEEE Transactions on Plasma Science,2005年,Vol.33/No.2,p.430-431
岩間尚文,プラズマの揺動解析入門VI 6.揺動解析の新しい方法-特異値分解-,プラズマ・核融合学会誌,1998年11月25日,Vol.74/No.11,p.1310-1318,奥付
大山裕之ら,燃焼炎の画像計測,第2回画像センシングシンポジウム講演論文集,1996年,p.271-274
Toru Iwao et al.,Plasma Image Processing of High Speed Arc Movement in a Rail-Gun,IEEE Transactions on Plasma Science,2005年,Vol.33/No.2,p.430-431
岩間尚文,プラズマの揺動解析入門VI 6.揺動解析の新しい方法-特異値分解-,プラズマ・核融合学会誌,1998年11月25日,Vol.74/No.11,p.1310-1318,奥付
大山裕之ら,燃焼炎の画像計測,第2回画像センシングシンポジウム講演論文集,1996年,p.271-274
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Takewa International Patent Office