Title:
研磨布
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024031395
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】本発明は、剛性を維持すると共に、シリコンウェーハのノッチ部を研磨する際、髭状体の発生を抑制することが可能な研磨布を提供する。【解決手段】本発明に係る研磨布は、シリコンウェーハのノッチ部を研磨するために用いられ、合成繊維から構成された不織布と、該不織布に含侵された樹脂と、を備えた円環板状の研磨布であって、見掛け密度が０．３０ｇ／ｃｍ３以上であり、前記合成繊維が、異形断面形状を有する。【選択図】図３
Inventors:
Takeshi Kawabata
Application Number:
JP2022134919A
Publication Date:
March 07, 2024
Filing Date:
August 26, 2022
Export Citation:
Assignee:
Nitta DuPont Co., Ltd.
International Classes:
B24B37/24; B24B9/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Fujimoto Partners
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