Title:
研磨装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024024325
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】加工室の外に研磨液や洗浄液が付着していることを作業者に報知して注意を喚起すること。【解決手段】保持面でウェーハＷを保持するチャックテーブル１０と、ウェーハＷを研磨パッド２５で研磨する研磨機構２０と、チャックテーブル１０と研磨機構２０とを収容する加工室Ｓと、酸性またはアルカリ性の研磨液を加工室Ｓ内の研磨パッド２５に供給する研磨液供給ユニット４０と、を備え、ウェーハＷを研磨する研磨装置１において、加工室Ｓの外に、研磨液が付着すると変色する塗料を塗布した塗料シール２を貼着する。例えば、塗料シール２で反射した光を受光してその色を検知するカラーセンサ（カラー検知部）６０と、該カラーセンサ６０によって検知された色によって酸性液体またはアルカリ性液体が付着していることを判断する判断部７０と、該判断部７０の判断によって作業者に報知する表示灯（報知部）８０を設ける。【選択図】図１
Inventors:
Rogue wave
Application Number:
JP2022127093A
Publication Date:
February 22, 2024
Filing Date:
August 09, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B55/06; B24B7/04; B24B49/12; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Tokyo Alpa Patent Office