Title:
位置測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7343227
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】本発明は、位置測定装置とスケールの位置関係を高精度で測定することを目的とする。【解決手段】行選択部４０は、画像センサ１８における複数の画素行のうちいずれかを選択する。列選択読み出し部４２は、行選択部４０によって選択された画素行に属する複数の画素から、画素値を行方向に順次読み出す。制御部は、スケールに設けられたマーカペアの検出位置を、列選択読み出し部４２によって読み出された画素値に基づいて求める。行選択部４０は、複数の画素行のうちマーカペアの上側部分に対応する画素行を選択する上側選択処理と、下側部分に対応する画素行を選択する下側選択処理とを実行する。制御部は、上側選択処理によって選択された画素行から読み出された画素値と、下側選択処理によって選択された画素行から読み出された画素値とを合成した検出信号のゼロクロスポイントに基づいて検出位置を求める。【選択図】図３
Inventors:
Manabe Mitsuo
Application Number:
JP2022053356A
Publication Date:
September 12, 2023
Filing Date:
March 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
Manabe Mitsuo
International Classes:
G01D5/347
Domestic Patent References:
| JP202185816A | ||||
| JP2020513601A | ||||
| JP2006217213A | ||||
| JP201140807A | ||||
| JP2013162421A |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office