Title:
位置決め装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023511702
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、第１基板を支持し位置決めするように構成される第１位置決めモジュールと、第２基板を支持し位置決めするように構成される第２位置決めモジュールと、２つの位置決めモジュールが第１処理シーケンスを実行するために交互に位置決めされうる第１位置決めフィールドと、２つの位置決めモジュールが第２処理シーケンスを実行するために交互に位置決めされうる第２位置決めフィールドと、を備え、２つの位置決めモジュールのうちの一方が第１処理シーケンスを実行しているとき又は終了しようとしているとき、他方の位置決めモジュールが第２処理シーケンスを終了して２つの位置決めモジュールのうち一方へと近づいて位置決めされる、位置決め装置が提供される。【選択図】図４
Inventors:
De Witt, Paul, Cornet, Henri
Fundorst, apple, petrus, cornelis
Fundorst, apple, petrus, cornelis
Application Number:
JP2022545777A
Publication Date:
March 22, 2023
Filing Date:
January 14, 2021
Export Citation:
Assignee:
ASM L Netherlands B.V.
International Classes:
G03F9/00
Attorney, Agent or Firm:
Morishita Kenki
Takeshi Aoki
Takeshi Aoki
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