Title:
A pressure sensor and its manufacturing method
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6132047
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】高性能な特性を有する圧力センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】圧力センサとしてのマイクロフォン２０は、金属ガラスからなるダイヤフラム２１を備える。好ましくは、ダイヤフラム２１と対向するように電極２５を備え、ダイヤフラム２１と電極２５とで静電容量を形成するようにするとよい。ダイヤフラム２１が金属ガラスからなることにより、圧力の変形に耐えて機械強度が向上する。ダイヤフラム２１は、厚い部分２１ａと薄い部分２１ｂとを有することにより機械強度を増しても良いし、ダイヤフラム２１の引張強度が調整されることで、所定の共振周波数を有するようにしても良い。【選択図】図２
Inventors:
Hideharu Tanaka
York frommel
Thomas Gesner
York frommel
Thomas Gesner
Application Number:
JP2016064778A
Publication Date:
May 24, 2017
Filing Date:
March 28, 2016
Export Citation:
Assignee:
Tohoku University
Fraunhofer Gesellschaft Tool Felderung der Angewanten Forsung A Fau
Fraunhofer Gesellschaft Tool Felderung der Angewanten Forsung A Fau
International Classes:
G01L9/00; G01L9/12; G01L23/12; H04R7/04; H04R19/00; H04R19/04; H04R31/00
Domestic Patent References:
| JP4770605B2 | 2011-09-14 | |||
| JP2008155333A | 2008-07-10 | |||
| JP2004045048A | 2004-02-12 |
Attorney, Agent or Firm:
Kazuyuki Hirayama
Yoshinori Morita
Yoshinori Morita