Title:
圧力センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024041171
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】圧力センサをイナート対応としたことに起因して生じる問題を解決する。【解決手段】非金属材料で構成されたシート状のダイアフラム８と、非金属材料で構成され、ダイアフラムの主平面と対向するダイアフラム対向面１０を有し、ダイアフラム対向面がダイアフラムによって覆われるように配置され、ダイアフラム側を向く流体入口１４及び流体出口１８が設けられている本体ブロック４と、圧力伝達液２４を収容する窪み２２を有し、窪みの開口がダイアフラムによって塞がれるようにダイアフラムを挟んで本体ブロックとは反対側に配置され、ダイアフラムとダイアフラム対向面との間を流れる流体の圧力をダイアフラムの変形量によって検出するように構成されたセンサヘッド６と、を備え、流体入口及び流体出口はダイアフラム対向面よりもダイアフラムから離間して設けられている。【選択図】図１
Inventors:
bamboo forest dragon
Shinya Imamura
Shinya Imamura
Application Number:
JP2022145830A
Publication Date:
March 27, 2024
Filing Date:
September 14, 2022
Export Citation:
Assignee:
SHIMADZU CORPORATION
International Classes:
G01L19/00; G01L7/08; G01L19/14
Attorney, Agent or Firm:
Daisuke Noguchi