Title:
圧力スイッチ、圧力センサ、及び、これらのモジュール
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016203694
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明の目的は、圧力スイッチあるいは圧力センサ単体で小型化、軽量化、薄型化を達成し、また、圧力スイッチあるいは圧力センサをモジュール化した場合に、１つの検出ＩＣで複数箇所の圧力状態を検出し、更に小型化、軽量化、薄型化を達成できる圧力スイッチ、圧力センサ、及び、これらのモジュールを提供することである。本発明の圧力スイッチ、圧力センサ、及び、これらのモジュールは、金属製のダイヤフラム（１１１）と、ダイヤフラム（１１１）の一部に電気的に接続される可動側電極（１２１）と、ダイヤフラム（１１１）の管路（１１）に対向する大気圧側に設けられ、金属製の固定側電極（１２２）と、固定側電極（１２２）とダイヤフラム（１１１）との絶縁を確保する絶縁被膜（１２３）と、可動側電極（１２１）に接続されたダイヤフラム（１１１）と固定側電極（１２２）との間の静電容量の変動を検出する静電容量検出ＩＣ（１２４）とを備える。
Inventors:
Yoshihiro Hamabe
Miyago Makoto
Miyago Makoto
Application Number:
JP2017524583A
Publication Date:
November 24, 2017
Filing Date:
April 28, 2016
Export Citation:
Assignee:
Saginomiya Co., Ltd.
International Classes:
H01H35/34
Domestic Patent References:
| JPS59144540U | 1984-09-27 | |||
| JPS56142432A | 1981-11-06 | |||
| JPH0882564A | 1996-03-26 | |||
| JPH11295176A | 1999-10-29 | |||
| JP2005209548A | 2005-08-04 | |||
| JPH10132684A | 1998-05-22 | |||
| JP2005337774A | 2005-12-08 | |||
| JPH10111207A | 1998-04-28 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Tani/Abe Patent Office