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Title:
圧力変化測定装置及び圧力変化測定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5650360
Kind Code:
B1
Abstract:
圧力変化測定装置1に備わる演算処理部30は、差圧計測用カンチレバー4の出力信号に基づいて、キャビティ10の内部圧力と測定対象圧力との差圧を求める差圧算出部と、設定されたキャビティ10の内部圧力と差圧算出部により算出された差圧とに基づいて、測定対象圧力を算出する測定対象圧力算出部と、差圧算出部により算出された差圧に基づいて、キャビティ10内外を流通する圧力伝達媒体の所定時間単位の流通量を算出する流量算出部と、流量算出部により算出された流通量とキャビティ10の容積とに基づいて、所定時間後のキャビティ10の内部圧力を算出し、当該算出した内部圧力で測定対象圧力算出部にて用いるキャビティ10の内部圧力の設定値を更新する内圧更新部と、を有する。

Inventors:
篠原 陽子
内山 武
大海 学
須田 正之
Application Number:
JP2014530839A
Publication Date:
January 07, 2015
Filing Date:
June 25, 2014
Export Citation:
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Assignee:
セイコーインスツル株式会社
International Classes:
G01L7/00; G01L9/00; G01L13/06
Attorney, Agent or Firm:
Noriaki Uchino
Nobuyuki Kimura
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