Title:
加工装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024000059
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】被加工物を加工することで生じる端材等を効率的かつ実効的に排除する。【解決手段】被加工物を保持する保持ユニットと、該被加工物を加工する加工具が装着された加工ユニットと、該被加工物に加工水を供給する加工水供給ユニットと、を備え、該保持ユニットで保持された該被加工物に該加工水供給ユニットで該加工水を供給しながら該加工ユニットで該被加工物を加工する加工装置であって、該保持ユニットで保持された該被加工物に供給され該保持ユニットの下方に落下した該加工水を受けるウォーターケースと、該ウォーターケースに接続され、該加工水を該ウォーターケースから排出させる経路となる排出路と、をさらに備え、該ウォーターケースは、底板と、該底板の外周から立設した側板と、該底板の上方に設けられた多孔質板と、を備え、該底板の上方に設けられた該多孔質板の上面は、該排出路に向かって低くなるように傾斜している。【選択図】図６
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Inventors:
Atsushi Nakatsuka
Application Number:
JP2022098583A
Publication Date:
January 05, 2024
Filing Date:
June 20, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q11/00; B24B55/06; B24B7/04; B24B55/02; H01L21/301; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato